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氣體質量流量傳感器 - FS4000系列

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為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
支持多種連接方式，易于安裝與使用
傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量

產(chǎn)品型號：: FS4000系列

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產(chǎn)品介紹

一、氣體質量流量傳感器FS4000系列(FS4003和FS4008)產(chǎn)品概述

FS4000系列質量流量傳感器是采用的微機電系統(tǒng)流量傳感器技術和智能電子控制技術，為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）
FS4003氣體質量流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測量范圍到5SLPM；適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。
FS4008氣體質量流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測量范圍到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等

?二、氣體質量流量傳感器FS4000系列(FS4003和FS4008)產(chǎn)品主要特性
1）為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
2）支持多種連接方式，易于安裝與使用
3）傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
4）在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
5）輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
6）零點穩(wěn)定度高
7）全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性
8）低功耗、低壓損
9）響應速度快

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三、 ?氣體質量流量傳感器FS4000系列(FS4003和FS4008)產(chǎn)品技術參數(shù)

性能參數(shù)	FS4003	FS4008	單位
通?徑	3	8	mm
流量	2,?3,?4,?5	10,?20,?30,?40,?50	SLPM
量程比	100:1
精?度	±(1.5+0.2FS)		%
重復性	0.75		%
零點輸出飄移	±30		mV
輸出飄移	±0.12		%/oC
響應時間	10（默認，可設置20,50,100,200,500,1000）		ms
工作電源	8~18Vdc,100mA
輸出方式	線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
流量壓損	100	600	pa
工作壓力	0.5		MPa
工作溫度	-10?~?+55		℃
存儲溫度	-20?~?+65		℃
工作濕度	<95%RH（無結冰、無凝露）
機械接口	BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭	BSPT1/4(R1/4)
校準方式	空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa
重量	57（帶R1/4,BSPT1/4接口）		g
	71 (帶4mm，8mm快速接口)
	68（帶6mm快速接頭)