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微流量傳感器 - F1031

  • 微流量傳感器
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新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)
無漂移,無滯后
精度高,響應(yīng)速度快,重復(fù)性好
低功耗(使用脈沖激發(fā)電流)
可準(zhǔn)確測量極小流量
經(jīng)過完全校準(zhǔn)和溫度補償
線性或開方特性輸出;模擬或數(shù)字輸出

產(chǎn)品型號:
F1031
訂貨數(shù)量:

產(chǎn)品介紹

一、微流量傳感器F1031描述

F1031 微流量傳感器是利用熱力學(xué)原理對流道中的氣體介質(zhì)進(jìn)行流量檢測,具有很好的精度與重復(fù)性。F1031微流量傳感器內(nèi)置有溫度傳感器,每只都進(jìn)行專有的溫度補償校準(zhǔn);同時具有線性模擬電壓輸出,方便使用。
芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成:熱偶堆對稱地分布在加熱電阻的上、下游;加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié)處于一個隔熱底座上。加熱電阻對熱偶堆的熱結(jié)加熱。熱偶堆熱結(jié)和冷結(jié)之間的溫度梯度導(dǎo)致輸出電壓,即本征塞貝克效應(yīng)。加熱電阻兩側(cè)的等溫線,當(dāng)流體靜止時,等溫線沿垂直加熱電阻中部的直線對稱分布,加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度是相同的。當(dāng)流體從左向右流動時,等溫線向右側(cè)傾斜。加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度不再相同。溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測定。由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān),因此傳感器可直接測出流體質(zhì)量流量。


二、微流量傳感器F1031傳感器特點
新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)
無漂移,無滯后
精度高,響應(yīng)速度快,重復(fù)性好
低功耗(使用脈沖激發(fā)電流)
可準(zhǔn)確測量極小流量
經(jīng)過完全校準(zhǔn)和溫度補償
線性或開方特性輸出;模擬或數(shù)字輸出


三、微流量傳感器F1031主要應(yīng)用
醫(yī)用設(shè)備:呼吸儀、肺活量儀、麻醉控制儀、氧氣控制等
暖通空調(diào):變風(fēng)量系統(tǒng) (VAV)、過濾器監(jiān)控、風(fēng)扇通風(fēng)控制等
工業(yè)過程控制:燃燒器控制
空氣和環(huán)境保護(hù)
便攜式儀器

四、微流量傳感器F1031技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品型號 F1031微流量傳感器
量程① 20、35、50、100、150、200SLM②
  最小 典型值 最大 單位
滿量程輸出 4.90 5.00 5.10 V
零流量輸出 0.96 1.00 1.04 V
輸出阻抗 - 200 - Ω
工作電壓 7.0 10.0 14.0 V
工作電流 15 25 30 mA
精度 - ±1.5 ±2.5 %F.S
重復(fù)性 - ±0.3 ±0.5 %F.S
年漂移③ - ±0.1 ±0.5 %F.S
工作壓力④ - - 100 kPa
反應(yīng)時間 5 10 15 ms
工作溫度⑤ -25 - 65
儲存溫度 -40 - 90

注:產(chǎn)品參數(shù)如有變動,恕不另行通知


ISweek 工采網(wǎng)的所有產(chǎn)品均來自于原始生產(chǎn)廠商直接供貨,非第三方轉(zhuǎn)售。

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