瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空計(jì) 熱導(dǎo)式傳感器 - MTCS2305

產(chǎn)品介紹

瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空計(jì) 熱導(dǎo)式傳感器 MTCS2305 描述：

MTCS2305壓力計(jì)根據(jù)皮拉尼原理采用熱導(dǎo)率測(cè)量，是專用MEMS裝置，為小型TO39封裝。該傳感器采用鎳鉑電阻MEMS技術(shù)，將一個(gè)大型微機(jī)械低應(yīng)力氮化硅膜、兩個(gè)加熱用薄膜電阻以及體硅上的兩個(gè)補(bǔ)償用參考電阻，集成在微型封裝中。此MEMS結(jié)構(gòu)結(jié)合了用于電源和溫度分析的簡(jiǎn)單CMOS標(biāo)準(zhǔn)集成電路，適用于要求超低功耗、出色信噪比以及耐腐蝕氣體的尺寸關(guān)鍵真空OEM傳感解決方案。

瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空計(jì) 熱導(dǎo)式傳感器 MTCS2305 特性：
傳感器有3項(xiàng)可選的封裝選項(xiàng)：
僅傳感芯片，實(shí)現(xiàn)空氣中微型熱線(MTCS2305-0)
帶硅蓋的傳感芯片 (MTCS2305-20)，在20 um（或10 um）的冷熱部分之間創(chuàng)造一個(gè)間隙。這種小間隙提高了皮拉尼原
理在100 – 1000 mbar壓力下的靈敏度。


瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空計(jì) 熱導(dǎo)式傳感器 MTCS2305 特點(diǎn)：
擴(kuò)展測(cè)量范圍10-5 ~ 1000 mbar
MEMS 微機(jī)械硅傳感器，傳感器的幾何結(jié)構(gòu)與傳感器電阻完美匹配
< 0.1 cm3 的超小傳感器氣體體積
皮拉尼微導(dǎo)線到墻的距離由硅微機(jī)械調(diào)節(jié)，下限為10 μm (MTCS2305-10) 或 20 μm (MTCS2305-20) ，具有優(yōu)異的傳感器重復(fù)性
采用具有大集成電阻（如250 Ohms）和小加熱質(zhì)量的MEMS硅傳感器，具有超低運(yùn)行功耗（< 5 mA @ 5V）
超快響應(yīng)時(shí)間< 30 ms ，電子帶寬 >100 Hz
由于相似的加熱電阻和參考電阻，在微型結(jié)構(gòu)的鉑鎳薄膜工藝中輕松實(shí)現(xiàn)了溫度補(bǔ)償
不受安裝位置影響
尺寸小，抗沖擊能力強(qiáng) (>1000 G)
采用金觸點(diǎn)，耐腐蝕性氣體，如氫氣


瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空計(jì) 熱導(dǎo)式傳感器 MTCS2305 應(yīng)用：
泄露檢測(cè)、推進(jìn)、半導(dǎo)體制造（例如，濺射室），凍結(jié)干燥器、真空肉類包裝機(jī)、真空鍍膜和負(fù)載鎖。通常，在功率和尺寸受限的惡劣環(huán)境下，按照皮拉尼原理進(jìn)行壓力測(cè)量 ，例如分析便攜式儀器或小型機(jī)械泵系統(tǒng)


瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空計(jì) 熱導(dǎo)式傳感器 MTCS2305 選型：